最大可對應到直徑6吋,以及透過特殊規格最大可對應到150×150 mm的工作物。另外因為搭載了高扭力2.0 kW的主軸,所以也可靈活對應不易切割材料的加工。有著寬敞的Water Case,也採用了使X軸有著充足行程的構造。
X軸採用活用了氣浮導軌特性的結構,實現了真直度的提昇。
除此以外,在Y軸上標準就搭載的光學尺可以穩定地進行軸控制,發揮更高的定位精度。藉由上述機能,可對應精度要求較高的光學部品及讀寫頭等產品的切斷、開槽等精密加工需求。
提高了Z軸的移動速度。
因為搭載了新型非接觸式測高機能(NCS,Non-Contact Setup/選配),對工作盤進行的刀片高度量測時間可以節省74%,也因為提高了測量的準確度,使得加工品質更加穩定。而且透過讓顯微鏡環形照明有3種照射方向,提升了刀痕檢測的辨識率。也有對應SECS/GEM通訊規格。
透過搭載顯微鏡鏡頭Shutter和吹氣清潔機能,可以降低保養頻率,並可期待提高機台稼動率。
Specification | Unit | ||
---|---|---|---|
Max. workpiece size | - | Φ6 inch (150 mm × 150 mm, 220 mm × 160 mm user-specified specification) | |
X-axis | Cutting range | mm | 160 |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 300 | |
Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
Index step | mm | 0.0001 | |
Index positioning accuracy | mm | 0.0015/160 (Single error) 0.0005/5 |
|
Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2(Φ2" blade) |
Moving resolution | mm | 0.000002 (2 nm) | |
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
Spindle | Rated output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
Rated torque | N・m | 0.48 | |
Rotation speed range | min‐1 | 3,000 ~ 40,000 | |
Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 730 × 900 × 1,670 | |
Equipment weight | kg | Approx. 600 |
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良,本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |