DFD6361Fully Automatic Dicing Saw
對應直徑300mm，功能齊全、更加先進的晶圓切割機
- Φ300 mm
- 對向式雙主軸
- DBG
生產效率的提高
透過採用對向式雙主軸的結構，以及將刀片軸之間的距離縮短，進而提高了生產效率。在Z1、Z2兩軸上搭載了NCS(Non-Contact Setup/選配)，大幅縮短了因測高(Setup)而產生的切割暫停時間。
穩定的加工品質
採用為了提高主軸徑向剛性的同步主軸™，提高了加工品質的穩定性。另外，也可透過選配搭載在洗淨工作物時可以發揮高度洗淨效果的Spinner部二流體洗淨機構。
操作便利性的提高
本機台不僅透過採用Wheel Cover自動開閉，以及主軸鎖定這兩種機構，提高了更換切割刀片時的作業效率，也可使用Condition Monitor掌握加工狀況及各種狀態。還搭載了切削水流量控制功能，可在操作畫面上進行流量管理。另外也搭載了採用GUI(Graphical User Interface)的可動式LCD觸控螢幕。
豐富的主軸選擇性
本機台標準搭載了高剛性的1.2kW主軸，更可以選擇藉由中心軸向式結構而提高剛性的1.8kW (可對應2吋刀片、選配)與2.2kW (可對應3吋刀片、選配) 主軸，對玻璃或陶瓷等負荷較高的加工也可對應。
節省佔地面積
透過採用門型構造以及搬送部規劃的最佳化，實現了緊湊的尺寸設計。
工作物加工流程圖
- 取物夾將工作物從儲料盒中取出，送到預校準台 →
-
在預校準台進行中心定位後，下手臂將工作物移到工作盤 → 進行切割加工 →
-
上手臂將工作物移到離心清洗台 → 進行清洗和乾燥 →
- 下手臂將工作物送到預校準台 →
- 取物夾將工作物送回儲料盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 |
||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） |
0.7 |
| Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Equipment weight | kg | Approx. 2,050 | ||
※ 為了產品的外觀、特徵、規格的改良，本公司可能在未預先通知用戶的情況下就實施變更。
※ 請在使用前先確認機台的標準仕樣書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6342 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,800 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 1,240 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |