DAD3431Automatic Dicing Saw

X軸にエアースライダを採用、高精度な加工ニーズに対応

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

幅広いアプリケーションに対応

ワークサイズ最大Φ6インチ、特殊仕様により150×150 mmワークにまで対応します。また、高トルク2.0 kWスピンドルを標準搭載しており、難削材ワークの加工にも柔軟に対応します。ウォータケースが広く、X軸のストロークに余裕を持たせた構造を採用しています。

高精度・高品質な加工に対応

X軸は、エアースライダの特性を活かす構造を採用し、真直度の向上を実現しています。さらに、Y軸に標準搭載されているリニアスケールが安定した軸制御を可能とし、より高い位置決め精度を発揮します。これにより、光学部品や磁気ヘッド等の切断・溝入れ加工など高い精度が要求される微細な加工ニーズに対応します。

スループット向上

Z軸の移動速度を高速化しました。

生産性向上

新型NCS（Non-Contact Setup/オプション）の搭載により、加工テーブルに対するブレード高さ測定時間を74％短縮。また、測定精度向上で、加工品質のさらなる安定化を実現しています。さらに顕微鏡リング照明の点灯方向を3チャンネル切り替えを可能にすることで、カーフチェック時の視認性を向上しています。SECS/GEMに対応しています。

イージーオペレーション

XIS (Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約
ウェーハマッピング
　フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示
ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化
ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート

高メンテナンス性

顕微鏡レンズシャッタ、スコープブロー機能を搭載することで、メンテナンス頻度を低減し、装置稼働率の向上が期待できます。

仕様

仕様		単位
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（150 mm × 150 mm、220 mm × 160 mm　特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	160
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 300
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.0015以内/160 （単一誤差）0.0005以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2（Φ2"ブレード時）
	移動分解能	mm	0.000002 (2 nm)
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格出力	kW	2.0 at 40,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.48
	回転数範囲	min^‐1	3,000 ～ 40,000
装置寸法（W × D × H）		mm	730 × 900 × 1,670
装置重量		kg	約600

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	1,100	1,040	1,500	1,550