DFD6361Fully Automatic Dicing Saw

機能充実、さらに進化したΦ300mmダイシングソー

Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル
DBG

スループットの向上

フェイシングデュアルスピンドル構造の採用とブレード間距離の短縮化により、スループットの向上を図りました。また、NCS（Non-Contact Setup/オプション）をZ1、Z2両軸に搭載し、セットアップによるカット中断時間を大幅に短縮しました。

加工品質の安定性

スピンドル軸のラジアル剛性を向上させたシンクロスピンドル™を採用することにより、加工品質の安定性を向上しました。また、ワーク洗浄に高い洗浄効果を発揮するスピンナ部二流体洗浄機構がオプションにて搭載可能です。

作業性の向上

ホイールカバーの自動開閉機構およびスピンドルのシャフトロック機構を採用することにより、ブレード交換時の作業性を向上しました。また、コンディションモニタにて加工状況、各種ステータス情報の把握が可能です。さらに、切削水流量コントロール機能を搭載し、画面上で流量管理を可能としました。GUI（Graphical User Interface）画面を採用した可動式LCDタッチパネルも搭載しています。

スピンドルラインアップ

高剛性1.2 kWスピンドルを標準搭載。センタースラスト構造により、更に剛性を高めた1.8 kW（2インチブレード対応、オプション）と2.2 kWスピンドル（3インチブレード対応、オプション）を選択することで、ガラスやセラミックスなど、負荷の高い加工にも対応が可能です。

省フットプリント

門型構造の採用と、搬送部レイアウトの最適化により、コンパクトサイズを実現しました。

ワークフローシステム

プッシュプルアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージへ →
プリアライメントステージでセンタリングを行った後、ロアアームがワークをチャックテーブルへ → 切削 →
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをプリアライメントステージへ →
プッシュプルアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		mm	Φ300
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 600
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	14.7（Φ2 inchブレード使用時）	14.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW）	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,200 × 1,550 × 1,800
装置質量		kg	約2,050

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800