DFD6362Fully Automatic Dicing Saw

生産性向上を追求したΦ300mmダイシングソー

Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル

高生産性

スピンドル間距離の短縮により、デュアルカット加工の高速化を実現しています。また、軸機構の改良によりX軸の加工戻り速度を向上し、さらに採用パーツの最適化により、主要搬送部を高速化しています。その結果、同条件下の比較で従来比約7％のスループット向上を実現しました。

徹底した洗浄能力の向上

加工部付近の水流を解析し、パーティクルの付着防止に効果的なホイールカバーを新設。また、チャックテーブルウォーターカーテン（CTWC）、カット部二流体ノズルをワーク特性に合わせて選択できるよう、オプション機能として採用しています。

オートブレードチェンジャー^※(ABC)

加工ワークの変更、ブレードライフエンド、ブレード破損などの際に発生するブレード交換、プリカット、カット再開までの一連の動作を全自動でおこない、オペレータの作業負担を軽減。両軸のブレード交換を約60秒で完了し、装置のダウンタイムを大幅に低減します。装置がブレード裏面の二次元バーコードに記録されたブレード品種などの情報を読み込んだ上で交換をおこなうため、ブレード付け間違いなどのヒューマンエラーを防止できます。

※ オプション

進化したグラフィカルオペレーションソフト

顕微鏡画像と同一画面上に操作ボタンを表示することで、ティーチ作業時などの操作性の向上を実現。また、装置コンディションのグラフ化により、装置稼動状況をわかりやすく表示できます。

ワークフローシステム

ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリング後、チャックテーブルへ → 切削 →
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
ロアアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.2, 1.8 kW, 高速回転	2.2 kW
最大ワークサイズ		mm	Φ300
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	14.7（Φ2 inchブレード使用時）	14.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.19（1.2 kW/高速回転） 0.29（1.8 kW）	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000(高速回転)	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,200 × 1,550 × 1,800
装置質量		kg	約2,050

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200	2,800