DFD6760Fully Automatic Dicing Saw

Φ300 mm ダイシングソーのハイエンドモデル

Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル

デュアルチャックテーブル搭載のフルオートマチックダイシングソー

DFD6760は、従来機(DFD6362)から生産性をさらに向上させたハイエンドモデルです。2つのチャックテーブル（以下、C/T）を搭載し、一方のC/Tで加工中に、他方のC/Tで搬送・アライメントを並行しておこなうことができるためスピンドルの加工待機時間が短縮され、生産性が向上します。また、一方のC/Tでのダイシング中に、他方のC/Tで加工後ワークの画像記録やNSD^※によるワーク厚み測定など、スループットを維持しつつ検査・測定ができます。さらに従来機同様、X、Y、Z軸の戻り速度を向上させることで加工時間を短縮しています。

※ Non-contact Surface Detector （非接触ウェーハ高さ測定器/オプション）

スループットを維持しつつ、薄ウェーハ加工の品質向上

薄ウェーハのステップカットでは、ウェーハ表面からの切り込み深さの制御が重要です。切り込み深さの制御に使うNSDにより、ウェーハ上面高さの高精度な測定が可能です。NSDは約10秒かかりますが、DFD6760は一方のC/Tでウェーハ加工中にNSDをおこなうため、スループットへの影響がありません。

豊富なパーティクル対策

DFD6362でご好評いただいているカット部二流体ノズルやホイールカバー、チャックテーブルウォーターカーテンなどをワークの特性に合わせてオプション選択可能です。

トレーサビリティ構築ニーズへの対応

DFD6760はC/Tが2つあるため、一方のC/Tでダイシングを行いつつ、他方のC/Tで加工後ワークのカーフ画像を保存し、加工品質を記録できます。近年、製造現場ではトレーサビリティの確保が求められており、万一デバイスに欠陥が発生した場合でもダイシング時の品質を確認・証明することが可能です。

イージーオペレーション

DFD6362でも使いやすさで定評のあるGUI (Graphical User Interface）を採用、LCDタッチパネルと組み合わせることで快適な操作を実現しました。

加工記録閲覧ソフト「Dicer Image Viewer」

従来製品とのプロセスフロー比較

仕様

仕様		単位	1.2, 1.8 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		mm	Φ300
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.003以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
MY1・MY2軸	インデックスステップ	mm	0.0001
MY1・MY2軸	位置決め精度	mm	0.003以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	14.7（Φ2 inchブレード使用時）	14.9（Φ3 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.19（1.2 kW/高速回転） 0.29（1.8 kW）	0.7
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（高速回転)	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,200 × 1,900 × 1,800
装置質量		kg	約2,750

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6560	DFD6561	DFD6750
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,960	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,640	1,500	2,200