アプリケーション加工実例
CPアライメント(Characteristic point alignment)とは、輪郭を基準としてターゲットを認識し、マッチングをおこなう機能です。コントラストによりターゲット認識をおこなう従来の方法ではアライメントが困難な場合に有効です。
参考写真:Si 300µm厚 + Si 300µm厚ウェーハの貼り合わせ品
従来
CPアライメント
参考写真:パッケージ基板の端子
従来
CPアライメント
<注意>
下図のように、傷や付着物の状態によってはアライメントが不安定になる場合があります。
ターゲット認識可能
ターゲット認識が不安定
本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせください。
ご質問・ご相談等ございましたら、お気軽にお問い合わせ下さい。