アプリケーション加工実例
測長アライメントとは、基板など伸縮の大きな製品の加工位置を検出する動作です。
※上記のようにアライメントマークを全部検出する方法以外に、ワークの端にあるアライメントマークのみを利用して、アライメント時間を短縮する方法もあります(Fig.3参照)。この場合、測長したアライメントマークを等分割してチップ間隔(インデックス)と傾き(θ)を補正して、加工位置を割り出します。
ディスコでは、ワークの状況に応じたさまざまなアライメント方法をご提案しています。詳細につきましては、お問い合わせください。
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