通常、ダイシングソーは、円か四角の形状のワークを加工します。そのため、三角形や割れたウェーハなどの異形ワークでは、無駄な加工をしてしまうことがあります。そこで、ダイシングソーに形状認識ユニットを搭載すると、異形ワークでも形状を正確に認識できるため、最適なストロークで加工し、スループット向上が可能です。形状認識ユニットはオプションで搭載可能です。

加工事例

異形のワークを最適なストロークで加工したい場合に、形状認識ユニットを使用します。

以下は、弊社装置において、CCDカメラを用いて形状認識を行っているときの画像です。

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