IR（Infrared Rays）カメラは、赤外線を利用したカメラです。赤外線は可視光に比べて波長が長いため散乱しにくい性質があり、シリコンなどを透過して裏面のパターンを撮影、アライメントすることができます。IRカメラはオプションまたはDPRとしてディスコの装置に搭載可能です。

加工事例

Si＋Si、Si＋ガラスなどの貼りあわせにより、パターン面が切削面上にないワークのアライメント方法としてIRカメラが使われます。

例）

以下はパターン付きウェーハ（t0.3mm）のパターン面を下向きにマウントして、標準カメラとIRカメラで観察を行ったときの画像です。

• Photo1：標準カメラ

  

• Photo2：IRカメラ

  

※透過するワークの厚さや材質により、IRカメラの使用可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。

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