ウェーハエッジ欠け対策として実施するエッジトリミングでは、ブレード先端形状が崩れてしまいます。今回は、ブレード先端形状をフラットにするフラットドレスをご紹介いたします。

実用例

エッジトリミングを実施するブレードは、ブレード先端形状が徐々に崩れてしまいます。フラットドレスを実施する事により、ブレード先端をフラットな状態に戻す事が可能です。

• エッジトリム加工後

  

• フラットドレス後

  

フラットドレスの方法

形の崩れたブレード先端をドレッサーボードに切り込み、スピンドルを前後に動作させ、ブレード先端をフラットにしていきます。

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