ホイール、加工条件の最適化により、高速デバイス等に用いられるInP（インジウム燐）の高品質加工が可能です。
最適な加工条件の選択により、従来と比較して加工面の状態が改善しています。

• 改善前の顕微鏡写真

  

• 改善後の顕微鏡写真

  

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