圧電体材料によく用いられるPZT（チタン酸ジルコン酸鉛）研削時、面内チップ間で面粗さばらつきが発生することがあります。 このばらつきは、「インフィードとクリープフィード」の応用により低減可能です。

PZT研削での面粗さばらつきの抑制は、下記特性の安定につながります。

• 圧力を電気に変換
• 電気を振動・変位に変換
• 電気を振動に、再度、電気に変換

クリープフィード研削は、面内粗さばらつきをインフィード研削の約 1/5 程度に抑えることができ、ばらつき対策として効果的です。
詳細は下図をご参照下さい。

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