GaAsウェーハの研削はワックス固定が主流ですが、アプリケーションの選定により、テープ固定での薄化研削も可能です。

加工実例

GaAsウェーハは破損しやすい素材です。そのため保持力の高いワックス固定による薄化研削が主流ですが、ホイールや加工条件、テープ等を選定することで、テープ固定での薄化研削も可能です。

ワックス固定

メリット

• 研削時のウェーハ破損リスクが低い

デメリット

• 精度の高い貼り付けが難しいため、研削後の厚みがばらつく可能性が高い
• 研削、剥離後にワックスを除去するための洗浄工程が必要
• 薄化後の洗浄工程でのウェーハ破損リスクが高い

テープ固定

メリット

• ワックス固定と比較して、プロセスが簡略
• 固定の精度が高いため、ウェーハの研削後の厚みがばらつきにくい

デメリット

• 適切な加工条件でなければ薄化時にウェーハ破損リスクが高くなる

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