研削ダメージによる反りについて

アプリケーション加工実例

ウェーハの反りは、ウェーハ表裏面のストレス不均衡が起因となり発生します。
強い反りは、加工中のバキュームリークやハンドリング時の吸着不足によるウェーハ落下の原因となります。裏面研削ダメージのストレスが表面よりも大きい場合の反りを順反りと呼び、表面を下にして凸方向の反りが発生します。また、凹方向の反りは逆反りと呼びます。

ここでは、研削ダメージによる反り量について説明します。