パターンの凹凸が大きいウェーハにBGテープを貼り付ける場合、テープ面に凹凸が発生します。この凹凸が研削後のウェーハに転写し、TTVが悪化する場合があります。
凹凸の発生したBGテープ表面を平坦化することで、研削後のTTVを向上できます。

＜プロセスフロー、および実験結果＞

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