GaAsウェーハテープ固定での加工メリットは「GaAsウェーハのテープ固定による薄化」にて紹介しましたが、今回は6inch GaAsウェーハテープ固定薄化の実績を紹介します。

加工実例

6inch GaAsウェーハテープ固定で90 µm仕上げは問題なく加工可能です。搬送も問題なく可能です。使用ホイールは粗研削#600、仕上げ研削#4800となります。

面粗さ（仕上げ研削後）

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