LTの高品質加工を紹介します。

加工実例

SAWデバイスの基板等に用いられる、4 inchLTウェーハのさらなる高品質加工が可能になりました。

面粗さデータ

Ra=約0.002 µm、Ry=約0.017 µmとなっています。

研削面状態

• 従来の加工面

  

• 高品質加工面

  

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