ウェーハエッジチッピングは、ウェーハの強度低下や割れの要因となります。
仕上げ研削時の研削量を適正化することで、粗研削時に発生した大きいチッピングを除去することができます。

• 仕上げ研削量が少ない場合

  

• 仕上げ研削量が適量の場合

  

仕上げ研削量の適正化は、チッピング数・サイズ双方の低減に効果的です。

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