TAIKO^®プロセスにおけるリング部の処理手法、「リング研削」をご紹介いたします。TAIKOウェーハをダイシングテープに転写する際、リング部とTAIKO部の段差が大きいと、テープ／ウェーハ間に大きな気泡が生じ、ダイシング加工に悪影響を及ぼします。リング研削によりこの段差を極小化することで、テープへの貼り付け状態やダイシング加工品質が向上します。

※TAIKOは株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。

リング研削方法

ダイシングテープ貼り付け状態

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