GaAsウェーハは、研削時に研削面のむしれ（穴状に剥がれた状態）やスクラッチが発生しやすい素材です。また、ウェーハの製造工程の違い等により、その加工性にばらつきが生じやすい特徴があります。ディスコでは、加工検証を繰り返すことを通じ、ウェーハ特性に見合ったホイールや最適な研削条件の選定にご協力いたします。

GaAsウェーハ加工例

通常のGaAsウェーハ研削では、粗研削に#600のホイールを使用します。仕上げ研削用ホイールは、表面粗さのご要望値やウェーハの加工性を考慮した上、適した品種を選定します。

以下に、使用頻度の高いレジンボンドホイールにて加工を行ったウェーハの表面粗さ（Ra/参考値）を示します。

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