加工對象: Silicon wafer, Compound semiconductor wafers (GaAs, GaP, etc.), Oxide wafers (LiTaO3, etc.), etc
運用新開發的集中度控制技術,開發出5個等級的集中度系列產品。透過集中度的細分化,您可使用到兼具了加工品質(特别是背面崩缺)和使用壽命的新型切割刀片。
在切割加工中,集中度※會影響研磨顆粒的磨耗量(使用壽命),透過集中度的高精度控制,可使切割刀片磨耗量及加工品質更趨於穩定。
※集中度是指在切割刀片中,鑽石研磨顆粒所占有的體積比例值。
例如,集中度100指的是,研磨顆粒所占體積為25 %的狀態。
ZH05因為增加了集中度的選項,可更加準確地滿足用戶的各種不同的加工需求。此外,還可望縮短預切割時間。
Workpiece | Φ6” Si+Oxide layer |
Depth | 400 µm (full cut) |
Feed speed | 60 mm/s |
Spindle revolution | 30,000 min-1 |
Workpiece | Φ6” Si |
Depth | 400 µm (full cut) |
Feed speed | 10, 20, 30 mm/s(each of 10lines) 40, 50 mm/s(each of 20lines) 60 mm/s(each of 130lines) |
Spindle revolution | 30,000 min-1 |
從刀座側觀察標準規格的輪轂型切割刀片,可以看見刀片側面有輕微的圓周狀紋路。
在公司內部的實驗中,確認這種圓周狀紋路不會影響加工品質。
如果客戶仍對加工品質有疑慮,可以選擇沒有圓周狀紋路的「-K」規格
下訂單時
在下訂單時,請用戶將產品型號名稱、各種尺寸等資訊及所需數量通知本公司。另外在初次訂購時,本公司銷售窗口會根據不同加工要求,協助用戶選擇合適的產品。屆時請提供切割材料、尺寸、形狀、及使用設備之型號等相關資訊。
※ 為了改進產品,本公司可能在未通知用戶的情況下,就對產品規格進行變更,因此請仔細核對規格後再下訂單。
為了安全使用本公司的各種產品
為了預防發生因研削磨輪、切割刀片(以下通稱精密加工治具)的破損而造成的各種事故和人身傷害,請嚴格遵守下列各注意事項。