DAD3231Automatic Dicing Saw

コンパクトダイシングソーの進化形

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

機能性・拡張性を重視

DAD3231は従来機DAD3230同様に機能性・拡張性を重視した構造になっており、ガラス、セラミックスといった電子部品など幅広いニーズに対応します。余裕を持たせた装置レイアウトにより、オプションで6インチ角ワークにまで対応可能なため、特殊サイズのワークの加工も柔軟に対応できます。より高い精度が必要な場合は、オプションでY軸にリニアスケールを搭載することが可能です。

小型化と共に軸速度・通信速度を高速化

従来機よりもフットプリント縮小を実現しています。また、加工軸の戻り速度、加減速特性も向上しています。さらに、高速通信方式の採用により、カット時間の短縮が可能です。従来機同様にオートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を標準搭載しているため、オペレータの作業工数を最小限に抑えることができます。高トルク2.0 kWスピンドルを標準搭載しています。

生産性向上

新型NCS（Non-Contact Setup/オプション）の搭載により、加工テーブルに対するブレード高さ測定時間を74％短縮。また、測定精度向上で、加工品質のさらなる安定化を実現しています。さらに顕微鏡リング照明の点灯方向を3チャンネル切り替えを可能にすることで、カーフチェック時の視認性を向上しています。SECS/GEMに対応しています。

イージーオペレーション

XIS (Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約
ウェーハマッピング
フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示
ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化
ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート
オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェック

仕様

仕様		単位
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（150 mm × 150 mm　オプション対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	210
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 800
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.005以内/185 （単一誤差）0.003以内/5
	位置決め精度	mm	Y軸スケール (オプション) 0.002以内/185 （単一誤差）0.001以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	31.2（Φ2 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.000002
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	レイアウト	-	シングル
	定格出力	kW	2.0 at 40,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.48
	回転数範囲	min^-1	3,000 ～ 40,000
装置寸法（W × D × H）		mm	650 × 950 × 1,670
装置質量		kg	約550

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550