DAD3240Automatic Dicing Saw
※この装置の生産は終了いたしました。 (部品供給についてはこちら)
Φ8インチ対応、シンプル、コンパクトなマニュアルダイシングソー
- Φ200 mmウェーハ対応
- シングルスピンドル
高い加工対応力
高出力1.8 kWスピンドルを採用することで、シリコンからセラミックスなどの難削材まで、幅広い加工に対応します。
高いメンテナンス性
顕微鏡レンズシャッタとスコープブロー機能を搭載することで、メンテナンス頻度を低減し、装置稼働率が向上します。
世界最小クラスのフットプリント
装置幅わずか650 mmの非常にコンパクトなΦ8インチワーク対応マニュアルダイシングソーです。Φ8インチ対応機として世界最小クラスのフットプリントを実現しています。
使いやすさの追求
Φ8インチワーク対応マニュアルダイシングソーのベストセラー機DAD3350と同等の操作体系を採用し、また、DAD3000シリーズで定評のあるオートアライメント機能を搭載しています。さらに15インチのLCDタッチパネルと、GUI(Graphical User Interface) による直感的な操作を実現しています。
環境配慮設計
欧州RoHS指令の特定6物質を含む15物質の非含有を実現した、グリーン調達対応製品です※。
※欧州RoHS指令の準拠と当社グリーン調達基準を満たした製品
後継機
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 最大ワークサイズ | - | Φ8 inch（200 mm角の特殊対応可能） | |
| X軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 |
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 0.1 ～ 600 | |
| Y軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 |
| インデックスステップ | mm | 0.0001 | |
| 位置決め精度 | mm | 0.003以内/210 （単一誤差）0.002以内/5 |
|
| Z軸 | 最大ストローク | mm | 32.2 |
| 移動分解能 | mm | 0.00005 | |
| 繰り返し精度 | mm | 0.001 | |
| θ軸 | 最大回転角度 | deg | 320 |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 1.8 |
| 定格トルク | N・m | 0.29 | |
| 回転数範囲 | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 650 × 950 × 1,600 | |
| 装置質量 | kg | 約530 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  | |  |  |  |  |  |  |  |
| DAD324 | DAD3221 | DAD3231 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3361 | DAD3431 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 420 | 420 | 550 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
DAD3240Automatic Dicing Saw
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