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DAD323Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

※この装置の生産は終了いたしました。 (部品供給についてはこちら)

半導体ウェーハから電子部品まで多様な加工に対応する、世界最小^※のダイシングソー

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

多様な加工に対応

最大6インチ角サイズのワークに対応可能な、高トルク2.0 kWスピンドル搭載の1軸ダイシングソー。Y軸スケール仕様(オプション)により､高精度なインデックス制御が可能で、ガラス､セラミックスなど難削材の加工にも対応します。また、高速回転1.8 kWスピンドル（最高回転数：60,000 min^-1）もオプションで選択可能で、汎用性の高い装置です。

高生産性

高性能MCUの採用によりソフトウェア動作速度、操作レスポンスを向上し、X、Y、Z軸全てを高速化、スループット向上を実現します。

	従来機(DAD322)	DAD323
X軸	500	800
Y軸	150	200
Z軸	30	80

mm/s

世界最小^※のフットプリント

横幅490 mmのコンパクト設計で、特に装置を複数台並べた際の面積あたり生産性向上に大きく貢献します。

※自社調べ

イージーオペレーション

オートアライメント機能を標準搭載
15 インチモニタとGUI(Graphical User Interface) によるオペレーション
大型化したモニタにより視認性向上、情報量増加
使いやすい3000シリーズと共通の操作体系を搭載（DAD322互換モード有）

DAD322（従来機）
DAD323

後継機

DAD324

仕様

仕様		単位
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（6 inch角の特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	160
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 800
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.005以内/160 (単一誤差)0.003以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2（Φ2 inchブレード時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格出力	kW	2.0 at 40,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.48
	回転数範囲	min^‐1	3,000 ～ 40,000
装置寸法（W × D × H）		mm	490 × 870 × 1,600
装置質量		kg	約400

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550