DAD3350Automatic Dicing Saw

多様な加工ニーズに対応

Φ200 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

幅広いアプリケーションに対応

ワークサイズ最大Φ8インチ、特殊仕様により250 mm角まで対応可能。1.8 kWスピンドルを標準搭載。2.2 kW高トルクスピンドル（オプション）を選択することで、シリコンからセラミックスなどの難削材加工も可能とし、特殊仕様により最大Φ5インチブレードまで対応可能です。また、ワークの複数枚貼り対応のアライメント機能もオプションにて搭載できます。

スループットの向上

各軸の移動速度を高速化し、スループットの向上を図りました。

機能・操作性の向上

LCDタッチパネルとGUI (Graphical User Interface) を搭載し、操作性を向上しました。加工状況、各種ステータスをビジュアル表示し、アイコン化されたボタンをタッチするだけで、簡単に操作がおこなえます。また、従来機300/500シリーズ、どちらからも置き換えが可能なように、操作面での共通性を考慮しました。

加工品質の向上

高剛性門型構造の採用と、熱伸縮や振動抑制に有利なスピンドル前方部支持構造とする事で、より安定した加工点を提供します。

新機能搭載

オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を搭載し、生産性を向上しました。顕微鏡にはコンタミネーション付着を考慮してエアーブロー機能とレンズシャッタを装備しています。また、アライメントの粗合わせ用として、低倍率の顕微鏡をオプションにて追加できます。さらにコンディションモニタにて、加工状況、各種ステータス情報の把握が可能になりました。画面上で流量管理が可能な切削水流量コントロール機能をオプションにて追加可能です。

仕様

仕様		単位	1.8 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		-	Φ8 inch（250 mm × 250 mm、Φ300 mm　特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	260
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 600
Y軸	切削可能範囲	mm	260
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/260 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2	31.4
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.29	0.70
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	900 × 1,050 × 1,800
装置質量		kg	約1,200

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550