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DAD3430Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

※この装置の生産は終了いたしました。 (部品供給についてはこちら)

高精度・高品位加工に対応したΦ6インチコンパクトダイシングソー

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

特殊仕様で6インチ角ワークまで対応

最大Φ6インチ、特殊仕様により6インチ角ワークまで対応可能な1軸ダイシングソーです。

操作性・機能性をさらに向上

オートアライメントを全機種に標準搭載し、オートフォーカス・オートカーフチェックなどの画像認識機能と共に生産性も向上しています。また、搭載している1.5 kWスピンドルにはブレード交換時の作業性を向上させるシャフトロック機構を搭載しています。膨張しにくい材質で、温度変化によるスピンドル変位量が少ない低膨張スピンドルもオプションにて選択が可能です。

高精度・高品位加工に対応

DAD3230をベースとしたモデルで、高精度・高品位加工に対応.しています。さらにX軸にエアスライダーを搭載、光学部品や磁気ヘッド等の切断・溝入れ加工など微細な加工が可能です。

オプション類の充実

切削水流量コントロール機能は、デバイスデータ毎に切削水流量を個別に設定できるため、オペレータの設定ミスを防止し、流量の安定化にも有効です。また、広範囲な視野の確保に有効なマクロ顕微鏡などにより、アライメント時の操作性の向上を図ることも可能です。さらに周辺ユニット類のレイアウトも考慮し、トランスとUPSの装置への内蔵を可能にしました。

後継機

DAD3431

仕様

仕様		単位	3430
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（150 mm × 150 mm、220 mm × 160 mm 特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	160/220 (特別付属品）
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 300
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.0015以内/160 (単一誤差)0.0005以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2（Φ2 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格出力	kW	1.5
	定格トルク	N・m	0.48
	回転数範囲	min^‐1	3,000 ～ 40,000
装置寸法（W × D × H）		mm	730 x 900 x 1,670
装置質量		kg	約600

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550