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DAD3360Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

※この装置の生産は終了いたしました。 (部品供給についてはこちら)

多様なニーズに対応するΦ300 mmマニュアルダイシングソー

Φ300 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

優れた加工対応力

従来機DAD3350からさらなる省フットプリントを実現しながらも、対応ワークサイズをΦ300 mmに拡張させました。また、高出力1.8 kWスピンドルを標準搭載することで、シリコンウェーハのみならず、大型パッケージ基板、SAWフィルタをはじめとする電子部品など、さまざまなサイズ・素材のダイシングに対応します。

豊富なオプション群

従来機同様、加工品質向上、ランニングコスト削減、難削材加工のためのさまざまなオプション仕様に対応します。

安定・高スループット加工を実現

高剛性門型構造の採用と、熱伸縮や振動抑制に有利なスピンドル前方部支持構造とすることで、安定した加工点を提供します。また、各軸の移動速度を高速化し、高スループットでの加工を実現します。

高い操作性

LCDタッチパネルとGUI (Graphical User Interface) を搭載。加工状況、各種ステータスをビジュアル表示し、アイコン化されたボタンをタッチするだけで、簡単に操作がおこなえます。さらにDFD6000シリーズで採用されているXIS (Extended Interface System) モードを標準搭載しました。顕微鏡画像操作において頻繁に使う画面移動、光量調整、フォーカス調整などの機能が一画面上に集約されたため、効率よく作業できます。

主なオプション

測長アライメント

樹脂基板など、不規則な伸縮が生じた素材に対し、複数点でのアライメントをおこなうことにより、高精度な加工が可能です。

2.2 kWスピンドル

最大Φ5インチブレードまで対応可能な、高トルク、高剛性の2.2 kWスピンドルの搭載で、石英ガラス、セラミックスなどの難削材や、3 mmを超える厚ワーク、厚いブレードによる溝入れなど、加工負荷の高い加工が可能です。

多枚貼り対応

複数のパッケージ基板を1枚のテープフレームに貼り付けて加工することができます（最大16枚まで対応）。

後継機

DAD3361

仕様

仕様		単位	1.8 kW	2.2 kW
最大ワークサイズ		mm	Φ300（250 mm × 250 mm特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2	31.4
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格トルク	N・m	0.29	0.70
スピンドル	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000	3,000 ～ 30,000
装置寸法（W × D × H）		mm	880 × 1,000 × 1,800
装置質量		kg	約1,100

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550