DAD3221Automatic Dicing Saw

コンパクトダイシングソーの進化形

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

小径ワークへの多様な加工ニーズに対応

最大Φ6インチ、特殊仕様で150 mm角のワークに対応する1軸ダイシングソーです。横幅490 mm×奥行870 mmの省スペース設計により世界最小のフットプリント^※を実現しています。高トルク2.0 kWスピンドルを標準搭載しており、オプションにて高速回転1.8 kWスピンドルも選択可能です。

※自社調べ

高生産性

高性能MCUの採用によりソフトウェア動作速度、操作レスポンスを向上しています。また、X、Y、Z軸全てにサーボモーターを採用することで軸速度を高速化し、スループット向上を実現する上、PC電装を標準搭載し、オプションで通信制御に対応します。従来機同様にオートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェックなどの画像認識機能を標準搭載しているため、オペレータの作業工数を最小限に抑えることができます。

生産性向上

新型NCS（Non-Contact Setup/オプション）の搭載により、加工テーブルに対するブレード高さ測定時間を74％短縮。また、測定精度向上で、加工品質のさらなる安定化を実現しています。さらに顕微鏡リング照明の点灯方向を3チャンネル切り替えを可能にすることで、カーフチェック時の視認性を向上しています。SECS/GEMに対応しています。

イージーオペレーション

XIS (Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約
ウェーハマッピング
フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示
ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化
ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート
オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェック

仕様

仕様		単位	2.0 kW	1.8 kW (オプション)
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（150 mm x 150 mm　特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	160
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 800
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.005以内/160 （単一誤差）0.003以内/5
	位置決め精度	mm	Y軸スケール(オプション) 0.002以内/160 （単一誤差）0.001以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2（Φ2 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.000002
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	レイアウト	-	シングル
	定格出力	kW	2.0 at 40,000 min^-1	1.8 at 60,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.48	0.29
	回転数範囲	min^-1	3,000 ～ 40,000	6,000 ～ 60,000
装置寸法（W × D × H）		mm	490 × 870 × 1,670
装置質量		kg	約420

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550