DFD6342Fully Automatic Dicing Saw
車載向け半導体など高品質加工の期待に応える基本性能に加え、UPH向上、自動化や省エネ化をすすめ、トータルな生産性を向上
- Φ200 mmウェーハ対応
- フェイシングデュアルスピンドル
生産性(UPH)の向上
- 対向形スピンドルのブレード間距離を19.8mmに短縮、同時カットライン数増によりカット時間も短縮
- 3軸同期制御による加工軸の戻り時間短縮
- 新型NCS（Non Contact Setup ） によるセットアップ時間短縮※
-
Auto Blade Changer (ABC)※
- 交換待ちによる装置停止を排し、稼働率を向上
- 交換作業のミス防止
- 加工ブレードのIDを自動記録しトレーサビリティを向上
※オプション機能
省エネ設計による生産コスト削減（従来機比較）
- エア使用量 -20％、スピンドル冷却水量 -63％
ユーザビリティーの向上
- 19 inchモニタの採用：同時表示情報を見やすく整理、操作性を向上
- ミス防止機能：ブレード交換ガイダンス、カット位置補正時の操作誘導、カット位置の確認など様々な機能を搭載
- 画面メモ：手書きメモの貼付による申し送りや画面ボタン上へのオーバレイで機能ロックなどオペレータ交代時の利便性を向上
- ログ分析機能：イベントのフィルタリング表示、数値データのソート・グラフ化、カーフチェック画像の複数表示など、機上での確認作業を容易化
装置自己診断、監視機能
- 加工軸：予防保全管理に繋がる診断スコアを提供
- スピンドル：重要ポイントの温度異常を監視
ワークフローシステム
-
ロアアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージでセンタリング後、チャックテーブルへ → 切削 →
-
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ → 洗浄・乾燥 →
- ロアアームがワークをカセットに格納
仕様
| 仕様 | 単位 | 1.8 kW | 1.2kW 高速回転 | 2.2 kW（3インチブレード） | |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大ワークサイズ | - | Φ8 inch | |||
| X軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 | ||
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | |||
| Y1・Y2軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 | ||
| インデックスステップ | mm | 0.0001 | |||
| 位置決め精度（単一誤差） | mm | 0.002以内/5 | |||
| 位置決め精度 | mm | 0.002以内/210 | |||
| Z軸 | 移動分解能 | um | 0.0002 | ||
| 繰り返し精度 | um | 1.0 | |||
| θ軸 | 最大回転角度 | deg | 380 | ||
| スピンドル | 定格トルク | N・m | 0.29 | 0.19 | 0.7 |
| 回転数範囲 | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 20,000 ～ 80,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 1,180 × 1,080 × 1,800 | |||
| 装置質量 | kg | 約1,240 | |||
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック | フルオートマチック |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,800 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
DFD6342Fully Automatic Dicing Saw
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