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DAD324Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

世界最小のフットプリントと機能性を両立する、Φ6インチコンパクトダイシングソー

Φ150 mmウェーハ対応
シングルスピンドル

小径ワークへの多様な加工ニーズに対応

高トルク2.0 kWスピンドルを標準搭載した最大Φ6インチ、特殊仕様で150 mm角のワークにも対応可能な1軸ダイシングソーです。

高生産性

高性能MCUの採用によりソフトウェア動作速度、操作レスポンスを向上しています。また、X、Y、Z軸全てにサーボモーターを採用することで軸速度を高速化し、スループット向上を実現する上、PC電装を標準搭載し、オプションで通信制御に対応します。さらに新型NCS(Non-Contact Setup)の採用で、測定精度の向上や測定時間の短縮を実現します。

	従来機(DAD322)	DAD324
X軸	500	800
Y軸	150	200
Z軸	30	80

mm/s

世界最小^※のフットプリント

横幅490 mmのコンパクト設計で、特に装置を複数台並べた際の面積あたり生産性向上に大きく貢献。

※自社調べ

イージーオペレーション

XIS(Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約
ウェーハマッピング
フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示
ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化
ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート
オートアライメント、オートフォーカス、オートカーフチェック

仕様

仕様		単位
最大ワークサイズ		-	Φ6 inch（150 mm角の特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	160
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 800
Y軸	切削可能範囲	mm	162
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.005以内/160 (単一誤差)0.003以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2（Φ2 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.000002
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格出力	kW	2.0 at 40,000 min^-1
	定格トルク	N・m	0.48
	回転数範囲	min^‐1	3,000 ～ 40,000
装置寸法（W × D × H）		mm	490 × 870 × 1,670
装置質量		kg	約420

※ 本機種の標準対応ブレード外径は55.56 mmで、最大1.2 mm厚のワーク加工に対応
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3651	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	790 × 790 × 1,800	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,040	1,500	1,550