DFD6560Fully Automatic Dicing Saw

省スペースレイアウトを追求したΦ300 mmダイシングソー

Φ300 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル

フットプリント16％削減

独自開発したショートスピンドルを搭載。門型構造のレイアウトを最適化し、装置本体のフットプリントを16％削減しました。また、装置前面からすべてのメンテナンスを可能とすることで、側面からのアクセスが不要となり、メンテナンスエリアを含むレイアウト面積では20％削減になります。Φ300 mmダイシングソーが複数並ぶ工場などに最適です。（DFD6362比）

直感的な操作でオペレータをアシスト

LCDタッチパネルにより、顕微鏡画面に触れながらアライメントティーチなどの操作がおこなえます。また、装置コンディションのグラフ表示や、MTBA（平均アシスト間隔時間）ステータス表示により、オペレータが装置の稼働状況をグラフィカルに把握できます。エラー時の対処方法を画面上でガイドすることで、リカバリー作業をアシストします。

スループットの向上

薄型ホイールカバーを搭載し、ブレード間距離を短縮することにより、同時にダイシングできるライン数が増加。ステップカットで効果が大きく、最大10％程度スループットが向上します。（DFD6362比）

パーティクル対策オプションの充実

パーティクル対策オプションとして実績のある、カット部二流体ノズルや、スピンナ二流体ノズル仕様が選択可能。また、パーティクルの乾燥による固着を防ぐチャックテーブルウォータカーテンの組み合わせも可能です。

メンテナンススペースの削減

日常のオペレーションからメンテナンスまで、すべて前面からアクセス可能。複数台並べて設置する場合、側面のメンテナンスエリアを削減できるため、従来機（DFD6362）4台分の設置スペースに5台のDFD6560が設置できます。

ワークフローシステム

プッシュプルアームがカセットからワークを引き出し、プリアライメントステージへ
プリアライメントステージでセンタリングを行った後、ロアアームがワークをチャックテーブルへ →
切削 →
アッパーアームがワークをスピンナテーブルへ →
洗浄・乾燥 → ロアアームがワークをプリアライメントステージへ →
プッシュプルアームがワークをカセットに格納

仕様

仕様		単位	1.8 kW	高速（オプション）
最大ワークサイズ		mm	Φ300
X軸	切削可能範囲	mm	310
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y1・Y2軸	切削可能範囲	mm	310
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/310 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	14.2（Φ2 inchブレード使用時）
	移動分解能	mm	0.00005
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	380
スピンドル	定格トルク	N・m	0.29	0.19
スピンドル	回転数範囲	min^-1	6,000 ～ 60,000	20,000 ～ 80,000
装置寸法（W × D × H）		mm	1,240 × 1,550 × 1,960	81 mm 突起（左側面）
装置質量		kg	約1,640

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DFD6240	DFD6340	DFD6341	DFD6342	DFD6361	DFD6362	DFD6363	DFD6450	DFD6561	DFD6750	DFD6760
フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック	フルオートマチック
1	2	2	2	2	2	2	2	2	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
900 × 1,190 × 1,800	1,180 × 1,110 × 1,850	1,180 × 1,080 × 1,820	1,180 × 1,080 × 1,820	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,200 × 1,550 × 1,800	1,120 × 1,500 × 1,600	1,240 × 1,550 × 1,800	1,510 × 1,554 × 1,800	1,200 × 1,900 × 1,800
1,200	1,600	1,500	1,240	2,050	2,050	1,800	1,400	1,500	2,200	2,800