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DAD3651Automatic Dicing Saw

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取扱説明書

よくあるご相談

さらなる加工安定性を実現する超小型デュアルスピンドルダイシングソー

Φ200 mmウェーハ対応
フェイシングデュアルスピンドル

省フットプリント

デュアルスピンドルのマニュアルダイシングソーとして最適な設計をおこなうことで小型化と高機能化を両立しました。多くの実績を持つΦ8インチ対応シングルスピンドル搭載機DAD3350比で2/3のフットプリントという超小型化を実現しています。

スループットの向上

2本のスピンドルで同時にダイシングするデュアルカットにより、シングルスピンドル機に対して最大で約2倍の高スループットを実現しました。

高い加工対応力

省フットプリントながら、最大Φ8インチ、特殊仕様により250 mm角までの大型ワークに対応します。また、各スピンドルに異なるブレードを装着して2段階でダイシングするステップカットにより、高い加工品質を要求されるワークにも対応可能です。

高剛性スピンドル搭載

高剛性1.8 kWスピンドルを搭載することで、加工安定性を向上しました。

使いやすさの追求

19インチの大型LCDタッチパネルを採用したことで、装置やブレードのコンディションを常時確認しながらの操作が可能となりました。また、オペレーション、ワーク交換、ブレード交換時などの、装置への基本的なアクセスを前面に集約した上、オートアライメント機能を標準搭載することにより、オペレータの負担を軽減しました。

仕様

仕様		単位
最大ワークサイズ		-	Φ8 inch（250 mm × 250 mm、Φ300 mm 特殊対応可能）
X軸	切削可能範囲	mm	260
X軸	送り速度入力範囲	mm/s	0.1 ～ 1,000
Y軸	切削可能範囲	mm	260
	インデックスステップ	mm	0.0001
	位置決め精度	mm	0.002以内/260 （単一誤差）0.002以内/5
Z軸	最大ストローク	mm	32.2
	移動分解能	mm	0.0000002 (0.2 nm)
	繰り返し精度	mm	0.001
θ軸	最大回転角度	deg	320
スピンドル	定格出力	kW	1.8
	定格トルク	N・m	0.29
	回転数範囲	min^‐1	6,000 ～ 60,000
装置寸法（W × D × H）		mm	790 × 790 × 1,800
装置質量		kg	約1,040

※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。

製品ラインナップ



装置タイプ
スピンドル数
C/T数
寸法（W × D × H）
質量（kg）


DAD324	DAD3221	DAD3231	DAD3241	DAD3350	DAD3351	DAD3361	DAD3431	DAD3660	DAD3661
オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック	オートマチック
1	1	1	1	1	1	1	1	2	2
1	1	1	1	1	1	1	1	1	1
490 × 870 × 1,670	490 × 870 × 1,670	650 × 950 × 1,670	650 × 950 × 1,670	900 × 1,050 × 1,800	880 × 1000 × 1,800	880 × 1,000 × 1,800	730 × 900 × 1,670	1,350 × 1,200 × 1,890	1,350 × 1,200 × 1,800
420	420	550	550	1,200	1,100	1,100	600	1,500	1,550