DAD3241Automatic Dicing Saw
Φ8インチ対応マニュアルダイシングソーの標準モデル
- Φ200 mmウェーハ対応
- シングルスピンドル
高い生産性
X、Y、Z軸全てにサーボモーターを採用することで軸速度を高速化し、スループットを向上しています。
| 従来機(DAD3240) | DAD3241 | |
|---|---|---|
| X軸 | 600 | 800 |
| Y軸 | 170 | 200 |
| Z軸 | 80 | 80 |
mm/s
また、Y軸スケールを標準搭載することで、インデックス精度を向上しています。これらに加え、PC電装搭載による通信制御、ソフト機能強化や、新型NCS(Non-Contact Setup)による測定精度向上、測定時間の短縮を実現しています。
大型ワーク対応
JIGチャックテーブルの搭載で、最大8×8インチ角ワークに対応可能（特殊仕様）です。
高い加工対応力
高出力1.8 kWスピンドルを採用することで、シリコンからセラミックスなどの難削材まで、幅広い加工が可能です。
省スペース設計
装置幅わずか650 mmの非常にコンパクトなΦ8インチワーク対応マニュアルダイシングソーです。
高メンテナンス性
顕微鏡レンズシャッタ、スコープブロー機能を搭載することで、メンテナンス頻度を低減、装置稼働率の向上を実現しました。
イージーオペレーション
- XIS(Extended Interface System)
操作ボタンを顕微鏡画面に集約 - ウェーハマッピング
フルオート機同様にカットの進捗状況をグラフィック表示 - ログビューア
アナログデータをグラフ表示、装置データを見える化 - ヘルプビューア
エラー発生時に対処方法を表示し、迅速で的確な復旧をサポート
仕様
| 仕様 | 単位 | ||
|---|---|---|---|
| 最大ワークサイズ | - | Φ8 inch（200 mm × 200 mm 特殊対応可能） | |
| X軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 |
| 送り速度入力範囲 | mm/s | 0.1～800 | |
| Y軸 | 切削可能範囲 | mm | 210 |
| インデックスステップ | mm | 0.0001 | |
| 位置決め精度 | mm | 0.002以内/210 (単一誤差)0.002以内/5 |
|
| Z軸 | 最大ストローク | mm | 32.2 |
| 移動分解能 | mm | 0.000002 | |
| 繰り返し精度 | mm | 0.001 | |
| θ軸 | 最大回転角度 | deg | 320 |
| スピンドル | 定格出力 | kW | 1.8 at 60,000 min-1 |
| 定格トルク | N・m | 0.29 | |
| 回転数範囲 | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | |
| 装置寸法（W × D × H） | mm | 650 × 950 × 1,670 | |
| 装置質量 | kg | 約550 | |
※ ご使用にあたっては、あらかじめ標準仕様書をご確認下さい。
※ 各事項、および仕様は改良のため、断りなく変更することがあります。
製品ラインナップ
| 装置タイプ |
| スピンドル数 |
| C/T数 |
| 寸法（W × D × H） |
| 質量（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DAD324 | DAD3221 | DAD3231 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3361 | DAD3431 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック | オートマチック |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 420 | 420 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
DAD3241Automatic Dicing Saw
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